Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Michael A. Lieberman et Allan J. Lichtenberg ont écrit un manuel d’étude en anglais destiné aux professionnels de la transformation des matériaux. Le livre traite des principes fondamentaux des décharges plasmatiques et de leurs applications dans la fabrication avancée de matériaux.
Ce titre propose un aperçu des technologies à base de plasma au cœur de la micro- et de la nanoélectronique, telles que l’etching au plasma anisotrope et le dépôt par plasma. Le livre contient des informations actualisées sur les décharges capacitatives à haute pression, ainsi que des analyses approfondies de la chimie du plasma, de la physique et de la diagnostique. En combinant théorie et procédures pratiques, il constitue un ouvrage de référence essentiel pour concevoir et analyser des procédés impliquant des décharges plasmatiques et des matériaux.
Le livre est pertinent pour les professionnels et les ingénieurs de procédé qui travaillent sur la transformation des matériaux assistée par plasma, et il s’inscrit dans des sujets tels que les applications d’ingénierie des matériaux électroniques, magnétiques et optiques, ainsi que la physique atomique et moléculaire, dans le domaine de la technologie et de l’ingénierie.