Conception de microsystèmes Stephen D. Senturia est un manuel d’étude en anglais qui se consacre à la conception de microsystèmes. Ce livre est destiné aux ingénieurs et aux étudiants qui souhaitent approfondir le développement et l’application des microsystèmes.
Il traite de l’intégration des techniques et des principes utilisés lors de la conception de microsystèmes, en abordant notamment des aspects tels que des capteurs intégrés et des procédés de microfabrication. Le livre décrit les fondements historiques et technologiques, dans lesquels l’utilisation de procédés de gravure anisotrope sélectifs et de la micromécanique en vrac (bulk micromachining) est largement discutée. Ainsi, il offre une vue d’ensemble complète des méthodes employées pour réduire la taille des systèmes jusqu’au niveau micro et nanométrique.
Le contenu s’inscrit dans des domaines comme le génie électrique et les technologies des matériaux électroniques, magnétiques et optiques. Conception de microsystèmes convient à toute personne qui souhaite s’orienter ou approfondir cette matière technique spécialisée.