La science de la microfabrication Chris Mack présente une description approfondie de la lithographie optique, destinée aux étudiants et aux chercheurs en microfabrication. Ce manuel couvre les principes fondamentaux et les applications pratiques, y compris les fondements théoriques et des exercices de simulation.
Description
La microfabrication de circuits intégrés exige divers procédés tels que le dépôt de films, la mise en forme des motifs et l’implantation/dopage des semi-conducteurs. La lithographie optique constitue le cœur de ces procédés, car elle crée sur le substrat des structures tridimensionnelles permettant le transfert de motif.
Ce livre propose une couverture complète de cette technique et se compose de dix chapitres et de trois annexes, chacune se terminant par des exercices. Le lecteur acquiert ainsi une compréhension des principes fondamentaux de la lithographie optique et de ses applications en microélectronique.
Spécifications
- Auteur : Chris Mack (Lithoguru.com)
- Éditeur : John Wiley & Sons Inc
- Date de publication : 16 novembre 2007
- Nombre de pages : 544
- ISBN : 9780470727300
- Thème : Génie mécanique et matériaux
- BISAC : TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical
À propos de l’auteur
Chris A. Mack est vice-président de la technologie de lithographie chez Lithoguru.com et un expert reconnu en lithographie optique.