L’ingénierie de la fabrication à l’échelle micro- et nano est un manuel de Stephen A. Campbell, destiné aux étudiants avancés en ingénierie. Ce livre traite des processus fondamentaux de fabrication pour les semi-conducteurs et les composants microélectroniques à l’échelle nanométrique. Il fournit une vue d’ensemble solide des bases techniques nécessaires pour le travail de production et de développement en micro- et nanotechnologie.
Description
Ce manuel d’ingénierie de la fabrication décrit les processus essentiels pour la fabrication de circuits intégrés et d’autres micro- et nanodispositifs. Avec des exemples et des illustrations clairs, il aide l’utilisateur à comprendre les technologies de fabrication les plus récentes en ingénierie à l’échelle microscopique et nanoscopique.
Spécifications du produit
- Auteur : Stephen A. Campbell
- Série : The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering
- Éditeur : Oxford University Press Inc
- Date de publication : 2012-12-20
- Nombre de pages : 688
- ISBN : 9780199861224
- Thème : Génie mécanique et matériaux
- BISAC : TECHNOLOGY & ENGINEERING / Électronique / Microélectronique
À propos de l’auteur
Stephen A. Campbell est professeur Bordeau en génie électrique et informatique à l’Université du Minnesota et fellow de l’IEEE.