Principles of Plasma Discharges and Materials Processing van Michael A. Lieberman en Allan J. Lichtenberg is een Engelstalig studieboek over plasmafysica en plasma-assisted materials processing. Het richt zich op gevorderde studenten, onderzoekers en engineers in physics, materials science en semiconductor processing.
Het boek behandelt de fysische principes van plasma discharges en hun toepassing in materiaalbewerking. Onderwerpen omvatten plasma generation, transportprocessen, plasma chemistry, diagnostics en de analyse van capacitieve en andere industriële ontladingen.
Toepassingen zoals plasma etching en deposition verbinden de theorie met processen uit micro- en nano-elektronica. De combinatie van plasma physics en process engineering maakt deze titel geschikt voor studie en onderzoek naar plasma-based materials processing.