Microsystem Design van Stephen D. Senturia is een Engelstalig studieboek dat zich richt op microsystem design. Dit boek is bedoeld voor ingenieurs en studenten die zich willen verdiepen in de ontwikkeling en toepassing van microsystemen.
Het behandelt de integratie van technieken en principes die worden gebruikt bij het ontwerpen van microsystemen, waarbij aspecten zoals geïntegreerde sensoren en microfabricageprocessen aan bod komen. Het boek beschrijft de historische en technologische achtergronden, waarbij onder andere het gebruik van selectieve anisotrope etsprocessen en bulk micromachining uitgebreid worden besproken. Hiermee biedt het een compleet overzicht van de methoden die worden gebruikt om systemen te verkleinen tot micro- en nanoniveau.
De inhoud sluit aan bij vakgebieden als Electrical Engineering en technologieën voor elektronische, magnetische en optische materialen. Microsystem Design is geschikt voor iedereen die zich wil oriënteren of verdiepen in deze specialistische technische materie.