The Science of Microfabrication van Chris Mack biedt een grondige beschrijving van optische lithografie, gericht op studenten en onderzoekers in de microfabricatie. Dit studieboek behandelt fundamentele principes en praktische toepassingen, inclusief theoretische onderbouwing en simulatieoefeningen.
Beschrijving
Microfabricatie van geïntegreerde schakelingen vereist diverse processen zoals filmdepositie, patroonvorming en dopering van halfgeleiders. Optical lithography vormt het hart van deze processen doordat het driedimensionale structuren op het substraat creëert voor patroonoverdracht.
Dit boek presenteert een complete behandeling van deze techniek en bestaat uit tien hoofdstukken en drie appendices, elk afgesloten met oefenproblemen. De lezer krijgt zo inzicht in de fundamentele principes van optische lithografie en haar toepassingen in de micro-elektronica.
Specificaties
- Auteur: Chris Mack (Lithoguru.com)
- Uitgever: John Wiley & Sons Inc
- Verschijningsdatum: 16 november 2007
- Aantal pagina's: 544
- ISBN: 9780470727300
- Thema: Mechanical engineering and materials
- BISAC: TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical
Over de auteur
Chris A. Mack is Vice-President van Lithography Technology bij Lithoguru.com en erkend expert op het gebied van optische lithografie.