Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale is een studieboek van Stephen A. Campbell, bedoeld voor gevorderde studenten in de engineering. Dit boek behandelt de fundamentele fabricageprocessen voor halfgeleiders en micro-elektronische componenten op nanoschaal. Het biedt een gedegen overzicht van de technische basis die nodig is voor productie- en ontwikkelingswerk in de micro- en nanotechnologie.
Omschrijving
Dit handboek voor fabrication engineering beschrijft de kernprocessen voor het vervaardigen van geïntegreerde schakelingen en andere micro- en nanodevices. Met heldere voorbeelden en illustraties ondersteunt het de gebruiker in het begrijpen van de nieuwste fabricatietechnologieën binnen engineering at the microscale en nanoscale.
Productspecificaties
- Auteur: Stephen A. Campbell
- Serie: The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering
- Uitgever: Oxford University Press Inc
- Verschijningsdatum: 2012-12-20
- Aantal pagina's: 688
- ISBN: 9780199861224
- Thema: Mechanical engineering and materials
- BISAC: TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics
Over de auteur
Stephen A. Campbell is Bordeau Professor Electrical and Computer Engineering aan de University of Minnesota en fellow van IEEE.