Mikrovalmistuksen tiede Chris Mack tarjoaa perusteellisen kuvauksen optisesta litografiasta, kohdistettuna opiskelijoille ja tutkijoille mikrovalmistuksen alalla. Tämä oppikirja käsittelee keskeisiä periaatteita ja käytännön sovelluksia, mukaan lukien teoreettinen taustoitus ja simulointiharjoitukset.
Kuvaus
Integroitujen piirien mikrovalmistus edellyttää useita prosesseja, kuten kalvokerrostusta, kuvioinnin muodostusta ja puolijohteiden dopingointia. Optinen litografia muodostaa näiden prosessien ytimen, sillä se luo substraatille kolmiulotteiset rakenteet, jotka mahdollistavat kuvion siirron.
Tämä kirja esittää kattavan käsittelyn tästä tekniikasta, ja se koostuu kymmenestä luvusta ja kolmesta liitteestä, joista jokainen päättyy harjoitustehtäviin. Lukija saa näin käsityksen optisen litografian perusperiaatteista sekä sen sovelluksista mikroelektroniikassa.
Tekniset tiedot
- Tekijä: Chris Mack (Lithoguru.com)
- Kustantaja: John Wiley & Sons Inc
- Julkaisupäivä: 16. marraskuuta 2007
- Sivumäärä: 544
- ISBN: 9780470727300
- Teema: Kone- ja tuotantotekniikka sekä materiaalit
- BISAC: TEKNOLOGIA & INSINÖÖRITEKNIIKKA / Mekaniikka
Tietoa tekijästä
Chris A. Mack on Lithoguru.comin Lithography Technology -liiketoiminnan varatoimitusjohtaja ja tunnustettu asiantuntija optisen litografian alalla.