La ciencia de la microfabricación Chris Mack ofrece una descripción completa de la litografía óptica, dirigida a estudiantes e investigadores en el ámbito de la microfabricación. Este libro de estudio aborda principios fundamentales y aplicaciones prácticas, incluyendo fundamentos teóricos y ejercicios de simulación.
Descripción
La microfabricación de circuitos integrados requiere diversos procesos, como la deposición de películas, la formación de patrones y el dopaje de semiconductores. La litografía óptica constituye el núcleo de estos procesos, ya que crea estructuras tridimensionales sobre el sustrato para la transferencia del patrón.
Este libro presenta un tratamiento completo de esta técnica y consta de diez capítulos y tres apéndices, cada uno finalizado con problemas de práctica. Así, el lector obtiene una comprensión de los principios fundamentales de la litografía óptica y de sus aplicaciones en la microelectrónica.
Especificaciones
- Autor: Chris Mack (Lithoguru.com)
- Editorial: John Wiley & Sons Inc
- Fecha de publicación: 16 de noviembre de 2007
- Número de páginas: 544
- ISBN: 9780470727300
- Tema: Ingeniería mecánica y materiales
- BISAC: TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical
Sobre el autor
Chris A. Mack es vicepresidente de Lithography Technology en Lithoguru.com y un experto reconocido en el campo de la litografía óptica.