Festkörperphysik, Fluidik und analytische Verfahren in der Mikro- und Nanotechnologie von Marc J. Madou ist ein englischsprachiges Lehrbuch, das eine fundierte theoretische Grundlage für MEMS und NEMS bietet und sich auf Nanotechnologie sowie die zugrunde liegenden wissenschaftlichen Prinzipien konzentriert. Das Buch behandelt wesentliche Themen wie Festkörperphysik, Quantenmechanik und die Eigenschaften von Silizium in einem technischen Kontext.
Das Buch behandelt die historische Entwicklung von Si, MEMS und NEMS, gefolgt von einer Analyse der Kristallographie, der Bandtheorie der Festkörper und der einzigartigen Eigenschaften von Silizium-Einkristallen. Darüber hinaus werden fortgeschrittene Themen behandelt, wie Photonik, Quanten-Hall-Effekt, Supraleitung und analytische Techniken zur Miniaturisierung.
Eigenschaften:
- Umfassende Behandlung der Quantenmechanik und ihrer Rolle in der Nanotechnologie und in NEMS
- Fokus auf die elektronischen, mechanischen und optischen Eigenschaften von Feststoffen
- Analyse der Fluidik und elektromechanischer Prozesse innerhalb von Mikro- und Nanosystemen
- Mit praxisnahen Beispielen, vertiefenden Verweisen und einem erklärenden Glossar
Dieses Lehrbuch ist geeignet für Studierende und Fachleute in Wissenschaft und Technik, mit Berührungspunkten zu Environmental Science, Physik und Mikroelektronik.