Grundlagen von Plasmaentladungen und Werkstoffverarbeitung Michael A. Lieberman und Allan J. Lichtenberg sind Autoren eines englischsprachigen Lehrbuchs, das sich an Fachleute in der Werkstoffverarbeitung richtet. Das Buch behandelt die grundlegenden Prinzipien von Plasmaentladungen und deren Anwendungen in der fortgeschrittenen Werkstoffverarbeitung.
Diese Titelfassung bietet einen Überblick über plasma-basierte Technologien, die im Mittelpunkt der Mikro- und Nanoelektronik stehen, wie anisotropes Plasmaätzen und Plasmabeschichtung. Das Buch enthält neue Erkenntnisse über kapazitive Hochdruckentladungen sowie tiefgehende Analysen der Plasmachemie, -physik und -diagnostik. Durch die Kombination von Theorie und praktischen Verfahren ist es ein unverzichtbares Nachschlagewerk für die Entwicklung und Analyse von Prozessen mit Plasmaentladungen und Werkstoffen.
Das Buch ist relevant für Fachleute und Prozessingenieure, die mit plasmaunterstützter Werkstoffverarbeitung arbeiten, und knüpft an Themen wie Engineering Applications elektronischer, magnetischer, optischer Werkstoffe sowie Atom- und Molekülphysik an, innerhalb des Fachgebiets Technologie und Ingenieurwesen.