Mikrosystemdesign Stephen D. Senturia ist ein englischsprachiges Studienbuch, das sich auf das Mikrosystemdesign konzentriert. Dieses Buch ist für Ingenieure und Studierende gedacht, die sich in die Entwicklung und Anwendung von Mikrosystemen vertiefen möchten.
Es behandelt die Integration von Techniken und Prinzipien, die beim Entwurf von Mikrosystemen verwendet werden, wobei Aspekte wie integrierte Sensoren und Mikrostrukturierungsprozesse zur Sprache kommen. Das Buch beschreibt die historischen und technologischen Hintergründe, wobei unter anderem die Nutzung selektiver anisotroper Ätzverfahren und der Bulk-Mikrobearbeitung ausführlich besprochen wird. Damit bietet es einen umfassenden Überblick über die Methoden, die eingesetzt werden, um Systeme auf Mikro- und Nanoniveau zu verkleinern.
Der Inhalt knüpft an Fachgebiete wie Elektrotechnik und Technologien für elektronische, magnetische und optische Materialien an. Mikrosystemdesign eignet sich für alle, die sich in dieses spezialisierte technische Wissensgebiet einarbeiten oder darin Orientierung finden möchten.