Die Wissenschaft der Mikrostrukturierung Chris Mack bietet eine gründliche Beschreibung der optischen Lithographie, ausgerichtet auf Studierende und Forschende in der Mikrostrukturierung. Dieses Lehrbuch behandelt grundlegende Prinzipien und praktische Anwendungen, einschließlich theoretischer Grundlagen und Simulationsübungen.
Beschreibung
Die Mikrostrukturierung integrierter Schaltungen erfordert verschiedene Prozesse wie das Abscheiden von Filmen, das Strukturieren von Mustern und das Dotieren von Halbleitern. Die optische Lithographie bildet das Herz dieser Prozesse, da sie dreidimensionale Strukturen auf dem Substrat erzeugt und damit die Übertragung der Muster ermöglicht.
Dieses Buch bietet eine vollständige Behandlung dieser Technik und besteht aus zehn Kapiteln und drei Anhängen, die jeweils mit Übungsaufgaben abschließen. So erhält der Leser Einblicke in die grundlegenden Prinzipien der optischen Lithographie und ihre Anwendungen in der Mikroelektronik.
Spezifikationen
- Autor: Chris Mack (Lithoguru.com)
- Verlag: John Wiley & Sons Inc
- Erscheinungsdatum: 16. November 2007
- Seitenzahl: 544
- ISBN: 9780470727300
- Thema: Maschinenbau und Werkstoffe
- BISAC: TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical
Über den Autor
Chris A. Mack ist Vizepräsident für Lithography Technology bei Lithoguru.com und ein anerkannter Experte auf dem Gebiet der optischen Lithographie.