Fertigungstechnik auf Mikro- und Nanoskala ist ein Lehrbuch von Stephen A. Campbell, das für fortgeschrittene Studierende im Ingenieurwesen bestimmt ist. Dieses Buch behandelt die grundlegenden Fertigungsverfahren für Halbleiter und mikroelektronische Bauteile im Nanomaßstab. Es bietet einen fundierten Überblick über die technische Grundlage, die für Produktions- und Entwicklungsarbeiten in der Mikro- und Nanotechnologie erforderlich ist.
Beschreibung
Dieses Handbuch für Fertigungstechnik beschreibt die Kernprozesse für die Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Mikro- und Nanogeräte. Mit klaren Beispielen und Abbildungen unterstützt es den Nutzer dabei, die neuesten Fertigungstechnologien im Ingenieurwesen im Mikro- und Nanoskalenbereich zu verstehen.
Produktspezifikationen
- Autor: Stephen A. Campbell
- Reihe: The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering
- Verleger: Oxford University Press Inc
- Erscheinungsdatum: 2012-12-20
- Anzahl Seiten: 688
- ISBN: 9780199861224
- Thema: Maschinenbau und Werkstoffe
- BISAC: TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics
Über den Autor
Stephen A. Campbell ist Bordeau Professor für Elektrotechnik und Computertechnik an der University of Minnesota und Fellow des IEEE.