{"product_id":"fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","title":"Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eThe Science of Microfabrication\u003c\/strong\u003e van Chris Mack biedt een grondige beschrijving van optische lithografie, gericht op studenten en onderzoekers in de microfabricatie. Dit studieboek behandelt fundamentele principes en praktische toepassingen, inclusief theoretische onderbouwing en simulatieoefeningen.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eBeschrijving\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eMicrofabricatie van geïntegreerde schakelingen vereist diverse processen zoals filmdepositie, patroonvorming en dopering van halfgeleiders. Optical lithography vormt het hart van deze processen doordat het driedimensionale structuren op het substraat creëert voor patroonoverdracht.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDit boek presenteert een complete behandeling van deze techniek en bestaat uit tien hoofdstukken en drie appendices, elk afgesloten met oefenproblemen. De lezer krijgt zo inzicht in de fundamentele principes van optische lithografie en haar toepassingen in de micro-elektronica.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eSpecificaties\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eAuteur:\u003c\/strong\u003e Chris Mack (Lithoguru.com)\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eUitgever:\u003c\/strong\u003e John Wiley \u0026amp; Sons Inc\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eVerschijningsdatum:\u003c\/strong\u003e 16 november 2007\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eAantal pagina's:\u003c\/strong\u003e 544\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eISBN:\u003c\/strong\u003e 9780470727300\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eThema:\u003c\/strong\u003e Mechanical engineering and materials\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cstrong\u003eBISAC:\u003c\/strong\u003e TECHNOLOGY \u0026amp; ENGINEERING \/ Mechanical\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\u003ch3\u003eOver de auteur\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eChris A. Mack is Vice-President van Lithography Technology bij Lithoguru.com en erkend expert op het gebied van optische lithografie.\u003c\/p\u003e","brand":"Intertaal","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":56354514796884,"sku":"9780470727300","price":71.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0967\/0538\/0692\/files\/fundamental-principles-optical-lithography-the-science-628.webp?v=1783597854","url":"https:\/\/intertaalid.nl\/products\/fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","provider":"Intertaal","version":"1.0","type":"link"}