{"product_id":"fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","title":"Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eLa science de la microfabrication\u003c\/strong\u003e Chris Mack présente une description approfondie de la lithographie optique, destinée aux étudiants et aux chercheurs en microfabrication. Ce manuel couvre les principes fondamentaux et les applications pratiques, y compris les fondements théoriques et des exercices de simulation.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eDescription\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eLa microfabrication de circuits intégrés exige divers procédés tels que le dépôt de films, la mise en forme des motifs et l’implantation\/dopage des semi-conducteurs. La lithographie optique constitue le cœur de ces procédés, car elle crée sur le substrat des structures tridimensionnelles permettant le transfert de motif.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eCe livre propose une couverture complète de cette technique et se compose de dix chapitres et de trois annexes, chacune se terminant par des exercices. Le lecteur acquiert ainsi une compréhension des principes fondamentaux de la lithographie optique et de ses applications en microélectronique.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eSpécifications\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cul\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eAuteur :\u003c\/strong\u003e Chris Mack (Lithoguru.com)\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eÉditeur :\u003c\/strong\u003e John Wiley \u0026amp; Sons Inc\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eDate de publication :\u003c\/strong\u003e 16 novembre 2007\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eNombre de pages :\u003c\/strong\u003e 544\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eISBN :\u003c\/strong\u003e 9780470727300\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eThème :\u003c\/strong\u003e Génie mécanique et matériaux\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eBISAC :\u003c\/strong\u003e TECHNOLOGY \u0026amp; ENGINEERING \/ Mechanical\u003c\/li\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/ul\u003e\u003ch3\u003eÀ propos de l’auteur\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eChris A. Mack est vice-président de la technologie de lithographie chez Lithoguru.com et un expert reconnu en lithographie optique.\u003c\/p\u003e","brand":"Intertaal","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":56354514796884,"sku":"9780470727300","price":71.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0967\/0538\/0692\/files\/fundamental-principles-optical-lithography-the-science-628.webp?v=1783597854","url":"https:\/\/intertaalid.nl\/fr\/products\/fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","provider":"Intertaal","version":"1.0","type":"link"}