{"product_id":"fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","title":"Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eMikrovalmistuksen tiede\u003c\/strong\u003e Chris Mack tarjoaa perusteellisen kuvauksen optisesta litografiasta, kohdistettuna opiskelijoille ja tutkijoille mikrovalmistuksen alalla. Tämä oppikirja käsittelee keskeisiä periaatteita ja käytännön sovelluksia, mukaan lukien teoreettinen taustoitus ja simulointiharjoitukset.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eKuvaus\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eIntegroitujen piirien mikrovalmistus edellyttää useita prosesseja, kuten kalvokerrostusta, kuvioinnin muodostusta ja puolijohteiden dopingointia. Optinen litografia muodostaa näiden prosessien ytimen, sillä se luo substraatille kolmiulotteiset rakenteet, jotka mahdollistavat kuvion siirron.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eTämä kirja esittää kattavan käsittelyn tästä tekniikasta, ja se koostuu kymmenestä luvusta ja kolmesta liitteestä, joista jokainen päättyy harjoitustehtäviin. Lukija saa näin käsityksen optisen litografian perusperiaatteista sekä sen sovelluksista mikroelektroniikassa.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eTekniset tiedot\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cul\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eTekijä:\u003c\/strong\u003e Chris Mack (Lithoguru.com)\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eKustantaja:\u003c\/strong\u003e John Wiley \u0026amp; Sons Inc\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eJulkaisupäivä:\u003c\/strong\u003e 16. marraskuuta 2007\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eSivumäärä:\u003c\/strong\u003e 544\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eISBN:\u003c\/strong\u003e 9780470727300\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eTeema:\u003c\/strong\u003e Kone- ja tuotantotekniikka sekä materiaalit\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eBISAC:\u003c\/strong\u003e TEKNOLOGIA \u0026amp; INSINÖÖRITEKNIIKKA \/ Mekaniikka\u003c\/li\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/ul\u003e\u003ch3\u003eTietoa tekijästä\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eChris A. Mack on Lithoguru.comin Lithography Technology -liiketoiminnan varatoimitusjohtaja ja tunnustettu asiantuntija optisen litografian alalla.\u003c\/p\u003e","brand":"Intertaal","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":56354514796884,"sku":"9780470727300","price":71.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0967\/0538\/0692\/files\/fundamental-principles-optical-lithography-the-science-628.webp?v=1783597854","url":"https:\/\/intertaalid.nl\/fi\/products\/fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","provider":"Intertaal","version":"1.0","type":"link"}