{"product_id":"fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","title":"Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eDie Wissenschaft der Mikrostrukturierung\u003c\/strong\u003e Chris Mack bietet eine gründliche Beschreibung der optischen Lithographie, ausgerichtet auf Studierende und Forschende in der Mikrostrukturierung. Dieses Lehrbuch behandelt grundlegende Prinzipien und praktische Anwendungen, einschließlich theoretischer Grundlagen und Simulationsübungen.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eBeschreibung\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eDie Mikrostrukturierung integrierter Schaltungen erfordert verschiedene Prozesse wie das Abscheiden von Filmen, das Strukturieren von Mustern und das Dotieren von Halbleitern. Die optische Lithographie bildet das Herz dieser Prozesse, da sie dreidimensionale Strukturen auf dem Substrat erzeugt und damit die Übertragung der Muster ermöglicht.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDieses Buch bietet eine vollständige Behandlung dieser Technik und besteht aus zehn Kapiteln und drei Anhängen, die jeweils mit Übungsaufgaben abschließen. So erhält der Leser Einblicke in die grundlegenden Prinzipien der optischen Lithographie und ihre Anwendungen in der Mikroelektronik.\u003c\/p\u003e\u003ch3\u003eSpezifikationen\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cul\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eAutor:\u003c\/strong\u003e Chris Mack (Lithoguru.com)\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eVerlag:\u003c\/strong\u003e John Wiley \u0026amp; Sons Inc\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eErscheinungsdatum:\u003c\/strong\u003e 16. November 2007\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eSeitenzahl:\u003c\/strong\u003e 544\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eISBN:\u003c\/strong\u003e 9780470727300\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eThema:\u003c\/strong\u003e Maschinenbau und Werkstoffe\u003c\/li\u003e\u003cli\u003e\u003cstrong\u003eBISAC:\u003c\/strong\u003e TECHNOLOGY \u0026amp; ENGINEERING \/ Mechanical\u003c\/li\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/ul\u003e\u003ch3\u003eÜber den Autor\u003c\/h3\u003e\u003cp\u003eChris A. Mack ist Vizepräsident für Lithography Technology bei Lithoguru.com und ein anerkannter Experte auf dem Gebiet der optischen Lithographie.\u003c\/p\u003e","brand":"Intertaal","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":56354514796884,"sku":"9780470727300","price":71.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0967\/0538\/0692\/files\/fundamental-principles-optical-lithography-the-science-628.webp?v=1783597854","url":"https:\/\/intertaalid.nl\/de\/products\/fundamental-principles-of-optical-lithography-the-science-of-microfabrication-chris-mack-lithoguru-com-9780470727300","provider":"Intertaal","version":"1.0","type":"link"}