# Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale

Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale is een studieboek van Stephen A. Campbell, bedoeld voor gevorderde studenten in de engineering. Dit boek behandelt de fundamentele fabricageprocessen voor halfgeleiders en micro-elektronische componenten op nanoschaal. Het biedt een gedegen overzicht van de technische basis die nodig is voor productie- en ontwikkelingswerk in de micro- en nanotechnologie.

### Omschrijving

Dit handboek voor fabrication engineering beschrijft de kernprocessen voor het vervaardigen van geïntegreerde schakelingen en andere micro- en nanodevices. Met heldere voorbeelden en illustraties ondersteunt het de gebruiker in het begrijpen van de nieuwste fabricatietechnologieën binnen engineering at the microscale en nanoscale.

### Productspecificaties

-   **Auteur:** Stephen A. Campbell
-   **Serie:** The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering
-   **Uitgever:** Oxford University Press Inc
-   **Verschijningsdatum:** 2012-12-20
-   **Aantal pagina's:** 688
-   **ISBN:** 9780199861224
-   **Thema:** Mechanical engineering and materials
-   **BISAC:** TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics

### Over de auteur

Stephen A. Campbell is Bordeau Professor Electrical and Computer Engineering aan de University of Minnesota en fellow van IEEE.

## Details

- **Price:** 256.22 EUR
- **Vendor:** Intertaal
- **Type:** Boek

## Variants

| Variant | Price | Available |
|---------|-------|-----------|
| Default Title | 256.22 EUR | In stock |

## Images

- Blauw-wit hardcover leerboek over fabrication engineering aan de micro- en nanoschaal door stephen a

## Additional Information

- **ISBN :** 9780199861224
- **Auteur:** Stephen A. Campbell
- **Serie:** The Oxford Series in Electrical and Computer Engineering
- **Categorie / Thema:** Studieboek / academisch

---

> Source: [Intertaal](https://intertaalid.nl/products/fabrication-engineering-at-the-micro-and-nanoscale-stephen-a-campbell-9780199861224)
> Updated: 2026-08-15